Journal of the Microelectronics and Packaging Society

본 연구에서는 Ag 금속입자가 기능화된 SnO2 나노선을 제작 및 저온 NO2 가스 센싱 특성을 평가하였다. Vapor–liquid–solid 공법을 이용하여 SnO2 나노선을 합성하였고, flame chemical vapour deposition 공법을 이용하여 Ag 금속입자를 SnO2나노선표면에기능화하였다. 합성된 Ag 금속입자가기능화된 SnO2나노선을이용하여 50oC에서 NO2 10 ppm에대한 가스 센싱 테스트를 진행한 결과, 감응도(Rg/Ra) 1.252를얻었다. 본연구를 통하여, 금속입자가 기능화된 나노선을 이용한 저온동작 반도체식 가스센서의 산업 적용을 현실화 할 수 있을 것으로 기대된다.
In this study, Ag-functionalized SnO2 nanowires are presented for NO2 gas sensitive sensors at low temperatures (50oC). SnO2 nanowires were synthesized using vapor-liquid-solid method, and Ag metal particles were functionalized on the surface of SnO2 nanowires using flame chemical vapor deposition method. As a result of the sensing test about Ag-functionalized SnO2 nanowires based sensor, the response (Rg/Ra) to 10 ppm NO2 was 1.252 at 50oC. We believe that metal-functionalizing is a one of good way to increase the feasibility about semiconductor gas sensor.

Keywords NO2, Sensor, SnO2, Ag, Nanowires