Journal of the Microelectronics and Packaging Society

본 연구에서는 InGaN/GaN multi quantum well (MQW)에서 Indium (In) 도핑효과에 따른 광전기화학적 특성을 관찰하였다. 기판으로는 Sapphire을 사용하였고, 각 Quantum well (QW)을 구성하고 있는 InGaN의 조성을 다르게 하였다. 투과도 측정 결과 일정한 In 조성을 가진 InGaN/GaN MQW에 비해 각 QW의 In 조성을 다르게 한 InGaN/GaN MQW에서 흡수도가 향상되는 것을 확인할 수 있었다. 이는 각각 다른 In 조성을 가진 InGaN 층이 더 넓은 영역의 스펙트럼 에너지를 가지는 빛을 흡수하기 때문인 것으로 생각된다. 광학적 특성을 평가하기 위해 진행한 상온 photoluminescence (PL) 실험을 진행한 결과, 역시 다양한 In 조성을 가진 InGaN/GaN MQW이 더 넓은 파장에서 발광이 나타나는 것을 확인할 수 있었다. 이들 샘플에 대한 광전기화학적 특성평가를 통하여, gradation In 조성을 가지고 있는 InGaN/GaN MQW이 일정한 In 조성을 가지는 InGaN/GaN MQW에 비해 광전기화학적 물분해 능력이 월등히 향상됨을 확인하였다.
In this study, the effects of indium (In) doping in InGaN/GaN multi quantum well (MQW) on photoelectrochemical (PEC) properties were investigated. Each quantum well (QW) layer with controlled In content were grown on sapphire substrate. Before growth of MQW, GaN growth consisted of various stages in the following order: buffer GaN growth, undoped GaN growth, and Si-doped n-type GaN growth. Absorbance of InGaN/GaN MQW having different In composition was higher than that of the InGaN/GaN MQW having a constant In composition. It indicates that InGaN layer having different In composition absorbs light having a broad spectrum energy. These results are in agreement with those in photoluminescence (PL). After evaluation of PEC properties, it demonstrated that InGaN/GaN MQW having different In composition was improved InGaN/GaN MQW having constant In composition in PEC water splitting ability.

Keywords InGaN/GaN, Multi quantum well, Photoelectrochemical, Water splitting, Hydrogen generation.