2024

Vol.31 No.1

Editorial Office

Review

  • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
  • Volume 29(1); 2022
  • Article

Review

Journal of the Microelectronics and Packaging Society 2022;29(1):61-66. Published online: Apr, 29, 2022

Effect of Metal Ni Atomic Layer Deposition Coating on Ni/YSZ, Anode of Solid Oxide Fuel Cells (SOFCs)

  • Jun Ho Kim1, Su In Mo1, Gwang Seon Park1, Hyung Soon Kim2,3, Do Heyoung Kim1, Jeong Woo Yun1,†
    1School of Chemical Engineering, Chonnam National University, Gwangju 61186, Korea, 2Haeyang Energy Co, Gwangju 62209, Korea, 3Department of Environmental System Engineering, Chonnam National University, 50 Daehak-ro, Yeosu, Jeonnam 59626, Korea
Corresponding author E-mail: jwyun@jnu.ac.kr
Abstract

이 연구는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 기술을 사용하여 나노미터 크기의 금속 촉매 물질을 연료극 층에 코팅하여 표면적을 늘리고 촉매의 효과를 극대화시키기 위한 연구이다. ALD 공정은 기판 위에 원자 수준에서 잘 제어된 두께를 갖는 균일한 막을 제조하는 것으로 알려져 있다. 우리는 고체산화물 연료전지의 연료극 물질로 가장 널리 알려진 Ni/YSZ 위에 금속(Ni)을 코팅하여 성능을 측정하였다. ALD 코팅은 3 nm 이상의 코팅에서 전지 성능의 감소를 보이기 시작했다
This study is to increase the surface area and maximize the effect of the catalyst by coating a nanometersized metal catalyst material on the anode layer using atomic layer deposition (ALD) technology. ALD process is known to produce uniform films with well-controlled thickness at the atomic level on substrates. We measured the performance by coating metals (Ni) on Ni/YSZ, which is the most widely known anode material for solid oxide fuel cells. ALD coatings began to show a decrease in cell performance over 3 nm coatings.

Keywords Solid Oxide Fuel Cell (SOFC), Atomic Layer Deposition (ALD), Alternative Anode