Journal of the Microelectronics and Packaging Society

최근 표면 플라즈몬 효과는 광 신호 향상에 중요하게 대두되고 있는 분야로써, 약한 광학적 신호를 증가시킴 에 따라 바이오 분야나 뉴로사이언스에 매우 중요한 분야로 대두되었다. 플라즈모닉 구조를 제작하기 위해선 나노 구조 의 크기 높이 그리고 입사광의 입사각 등 다양한 변수들이 존재하는데 본 논문에서는 플라즈모닉 나노구조의 제작을 위 한 은 증착 높이에 따른 플라즈모닉 나노구조의 광학적 특성에 대한 연구를 진행하였다. 은 증착은 플라즈모닉 효과를 보 기 위해 다양하게 사용하고 있는 금속으로 특정 파장에 반응을 보기 위해 제작한 구조 형태와 유사한 구조를 시간영역 유한차분(FDTD)법을 통해 광 특성을 예측하여, 최종적으로 제작한 구조의 은 나노 입자 부근에 에너지가 집중되는 결과 를 확인하였다.
Surface plasmon effect was considered importantly because of the enhancement of optical signals. It is important to detect weak optical signal in neuroscience and bio technology due to detect weaker image or signal. The height of silver can change the optical characteristic of plasmonic nano structure including transmittance and reflectance. In this paper, the optical characteristic of plasmonic nano structure were confirmed by the FDTD analysis method depending on the silver height and it was confirmed that energy was concentrated at the center of nano structure, and high far-field gain and current density in particular wavelength coule be obtained.

Keywords Plasmonic nanostructure, silver deposition, enhancement, surface plasmon